TY  - ELEC
AU  - Блейхер, Г. А.
AU  - Кривобоков, В. П.
AU  - Юрьева, А. В.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - магнетроны
KW  - распылительные системы
KW  - эмиссия
KW  - атомы
KW  - распыление
KW  - покрытия
KW  - осаждение
KW  - magnetron sputtering system
KW  - atomic emission
KW  - evaporation
KW  - sputtering
KW  - high-rate coating deposition
N2  - [Библиогр.: с. 108 (5 назв.)]
UR  - http://elibrary.ru/item.asp?id=22980209
ER  -