TY  - ELEC
AU  - Shanin, S. A.
AU  - Knyazeva, A. G.
AU  - Kryukova, O. N.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Coating Composition Evolution during the Deposition of Al and N from Plasma on a Cylindrical Substrate
T2  - Discharge and Plasma-Beam Technology
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - покрытия
KW  - осаждение
KW  - кинетика
KW  - численное моделирование
KW  - фазообразование
KW  - растяжение
KW  - термодинамика
KW  - плазма
KW  - подложки
UR  - http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.685.690
ER  -