TY - ELEC AU - Ilina, A. S. AU - Parfenova, E. S. AU - Goncharenko, I. M. ED - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) TI - The influence of changes in the composition of substrate on the mechanical properties of coatings KW - электронный ресурс KW - труды учёных ТПУ KW - адгезия KW - твердость KW - ионная имплантация KW - покрытия KW - нитриды KW - разряды KW - вакуумные дуги KW - катодное осаждение N2 - [References: 12 tit.] UR - http://dx.doi.org/10.1109/MEACS.2015.7414949 ER -