TY - ELEC AU - Aktaev, N. E. AU - Remnev, G. E. ED - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) TI - Carbon saturation of silicon target under the action of pulsed high-intensity ion beam KW - электронный ресурс KW - труды учёных ТПУ KW - насыщение KW - углерод KW - кремниевые мишени KW - импульсные пучки KW - ионные пучки KW - кремний KW - поверхности N2 - [References: 9 tit.] UR - http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/110/1/012054 UR - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/18076 ER -