TY  - ELEC
AU  - Nikitenkov, N. N.
AU  - Киселева, Е. С.
AU  - Konishchev, M. E.
AU  - Sypchenko, V. S.
AU  - Nikitenkov, A. N.
AU  - Pichugin, V. F.
AU  - Shulepov, I. A.
AU  - Mattias, E.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Investigation of the structure, elemental and phase composition of coatings on the basis of oxynitride titanium deposited by reactive magnetron sputtering
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
N2  - [References: p. 1234 (12 tit.)]
UR  - http://dx.doi.org/10.1134/S1027451014060391
ER  -