TY  - ELEC
AU  - Soloviev, A. A.
AU  - Oskirko, V. O.
AU  - Semenov, V. A.
AU  - Oskomov, K. V.
AU  - Rabotkin, S. V.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Comparative study of Cu films prepared by DC, high power pulsed and burst magnetron sputtering
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - напыление
KW  - ионный ток
KW  - магнетроны
N2  - [References: p. 4060 (34 tit.)]
UR  - http://dx.doi.org/10.1007/s11664-016-4582-6
ER  -