TY  - ELEC
AU  - Parfenova, E. S.
AU  - Knyazeva, A. G.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Non-Isothermal Model of Ion Implantation with Combined Ion Beam
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - ионная имплантация
KW  - ионные пучки
KW  - математические модели
KW  - металлические поверхности
KW  - деформации
KW  - подложки
KW  - коэффициент диффузии
N2  - [References: 13 tit.]
UR  - http://dx.doi.org/10.1063/1.4966478
ER  -