TY  - ELEC
AU  - Ryabchikov, A. I.
AU  - Sivin, D. O.
AU  - Bumagina, A. I.
AU  - Shevelev, A. E.
AU  - Shulepov, I. A.
AU  - Ananin, P. S.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - substrate negative bias
KW  - macroparticle accumulation
KW  - microdroplets
KW  - vacuum arc plasma
KW  - gaseous plasma
KW  - микрокапли
KW  - вакуумно-дуговая плазма
KW  - газовая плазма
KW  - подложки
KW  - отрицательное смещение
N2  - [References: p 470-471 (21 tit.)]
UR  - http://www.icontrolpollution.com/articles/influence-of-repetitively-pulsed-negative-bias-parameters-on-macroparticle-surface-density-.php?aid=79550
ER  -