TY  - ELEC
AU  - Bleykher (Bleicher), G. A.
AU  - Borduleva, A. O.
AU  - Yuryeva, A. V.
AU  - Krivobokov, V. P.
AU  - Lancok, J.
AU  - Bulir, J.
AU  - Drahokoupil, J.
AU  - Klimsa, L.
AU  - Kopecek, J.
AU  - Fekete, L.
AU  - Ctvrtlik, R.
AU  - Tomastik, J.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Features of copper coatings growth at high-rate deposition using magnetron sputtering systems with a liquid metal target
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - магнетронное распыление
KW  - испарение
KW  - высокоскоростное взаимодействие
KW  - покрытия
N2  - [References: p. 120 (31 tit.)]
UR  - https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.05.065
ER  -