TY  - ELEC
AU  - Nesterenko, T. G.
AU  - Barbin, E. S.
AU  - Koleda, A. N.
AU  - Arshinova, A. A.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Metrological performance of integrated multiple axis MEMS accelerometers under thermal effect
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - МЭМС-акселерометры
KW  - упругие подвески
KW  - движущиеся массы
KW  - температурная чувствительность
N2  - [References: 12 tit.]
UR  - http://www.imeko.org/publications/wc-2015/IMEKO-WC-2015-TC22-435.pdf
ER  -