TY  - ELEC
AU  - Ivanov, Yu. F.
AU  - Shugurov, V.
AU  - Krysina, O.
AU  - Petrikova, E.
AU  - Tolkachev, O. S.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Degradation of Nitride Coatings in Low-Pressure Gas Discharge Plasma
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - деградация
KW  - нитридные покрытия
KW  - газы
KW  - низкие давления
KW  - gas discharges
KW  - transition
KW  - tribology
KW  - chemical compounds
KW  - nanomaterials
KW  - газоразрядная плазма
N2  - [References: 8 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1063/1.5013755
ER  -