TY  - ELEC
AU  - Semenov, V. A.
AU  - Oskirko, V. O.
AU  - Rabotkin, S. V.
AU  - Oskomov, K. V.
AU  - Soloviev, A. A.
AU  - Stepanov, S. A.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Natural Oxidation of Ultra-Thin Copper Films
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - микроволновые печи
KW  - copper
KW  - thin films
KW  - oxidation
KW  - microstructure
KW  - микроструктура
KW  - окисление
KW  - тонкие пленки
KW  - медь
N2  - [References: 14 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1007/s11182-018-1251-7
ER  -