TY  - ELEC
AU  - Kousal, Ja.
AU  - Kolpakova, A.
AU  - Shelemin, A.
AU  - Kudrna, P.
AU  - Tichy, M.
AU  - Kylian, O.
AU  - Hanus, J.
AU  - Choukourov, A.
AU  - Biederman, H.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Monitoring of conditions inside gas aggregation cluster source during production of Ti/TiOx nanoparticles
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - наночастицы
KW  - плазма
N2  - [References: 40 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1088/1361-6595/aa88e8
ER  -