TY  - ELEC
AU  - Zanaska, M.
AU  - Hubicka Zdenek
AU  - Cada, M.
AU  - Kudrna, P.
AU  - Tichy, M.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Floating harmonic probe measurements in the low-temperature plasma jet deposition system
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - plasma
KW  - cathode
KW  - плазма
KW  - зонды
KW  - полые катоды
KW  - низкотемпературные системы
KW  - струйное напыление
N2  - [References: 36 tit.]
UR  - http://dx.doi.org/10.1088/1361-6463/aa9d3b
ER  -