TY  - ELEC
AU  - Uglov, V. V.
AU  - Abadias, G.
AU  - Zlotski, S. V.
AU  - Saladukhin, I. A.
AU  - Safronov, I. V.
AU  - Shimanskii (Shymanski), V. I.
AU  - Janse van Vuuren, A.
AU  - O'Connell, J.
AU  - Skuratov, V.
AU  - Neethling, J. H.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Features of microstructure of ZrN, Si3N4 and ZrN/SiNx nanoscale films irradiated by Xe ions
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - микроструктура
KW  - магнетронное распыление
KW  - ионное облучение
KW  - пузырьки
N2  - [References: 20 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.03.015
ER  -