20180522a2018    k  y0engy50      ba <br/><br/>
 - Title screen 
<br/><br/><label>Subjects--Corporate Names: </label><br/>электронный ресурс<br/>труды учёных ТПУ<br/>многослойные пленки<br/>нитрид алюминия<br/>ионы гелия<br/>ионы аргона<br/>имплантация<br/>аморфные слои<br/>радиационные дефекты<br/>пузыри<br/>отжиг