TY  - ELEC
AU  - Uglov, V. V.
AU  - Kvasov, N. T.
AU  - Remnev, G. E.
AU  - Shimanskii, V. I.
AU  - Korenevsky, E. L.
AU  - Zlotsky, S. V.
AU  - Abadias, G.
AU  - O'Connell, J. H.
AU  - van Vuuren, A. J.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Size effect in AlN/SiN multilayered films irradiated with helium and argon ions
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - многослойные пленки
KW  - нитрид алюминия
KW  - ионы гелия
KW  - ионы аргона
KW  - имплантация
KW  - аморфные слои
KW  - радиационные дефекты
KW  - пузыри
KW  - отжиг
N2  - [References: 15 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1016/j.nimb.2018.01.012
ER  -