TY - ELEC AU - Кривобоков, В. П. ED - Национальный исследовательский Томский политехнический университет TI - Основы радиационных и плазменных технологий. Часть 1 PY - 2018/// CY - Томск PB - TPU Moodle KW - Радиационная технология KW - Безопасность KW - stltpush KW - (RuTPU)RU\TPU\subj\22307 KW - электронный ресурс KW - труды учёных ТПУ KW - электронные учебные пособия KW - учебные пособия KW - Moodle KW - e-learning KW - поверхность KW - распыление KW - плазма KW - твердые тела KW - травление KW - ионные пучки KW - потоки энергии KW - радиационное воздействие KW - плазменные технологии KW - 621.039 KW - 4 UR - https://design.lms.tpu.ru/course/view.php?id=2440 ER -