20181022a2018    k  y0engy50      ba <br/><br/>
 - Title screen 
<br/><br/><label>Subjects--Corporate Names: </label><br/>электронный ресурс<br/>труды учёных ТПУ<br/>a-C:H:SiOx films<br/>Plasma CVD<br/>спектроскопия<br/>смещение<br/>FTIR spectroscopy<br/>смещение<br/>Substrate bias