20181025a2018    k  y0engy50      ba <br/><br/>
 - Title screen 
<br/><br/><label>Subjects--Corporate Names: </label><br/>электронный ресурс<br/>труды учёных ТПУ<br/>magnetron sputtering systems<br/>evaporation<br/>self-sputtering<br/>low-pressure magnetron sputtering<br/>high purity coatings<br/>coatings deposition<br/>магнетронные распылительные системы<br/>испарение<br/>низкое давление<br/>напыление