20190115a2017 k y0engy50 ba - Title screen Subjects--Corporate Names: электронный ресурструды учёных ТПУmultilayernanocompositeoxidationreactive magnetron sputter-depositionhard coatingsZr-Si-Nнанокомпозитыоксидированиемагнетронное напылениетвердые покрытия