TY  - ELEC
AU  - Petkov, N.
AU  - Kashkarov, E. B.
AU  - Obrosov, A.
AU  - Bakalova, T.
AU  - Kejzlar, P.
AU  - Bahchedzhiev, H.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Influence of Bias Voltage and CH4/N2 Gas Ratio on the Structure and Mechanical Properties of TiCN Coatings Deposited by Cathodic Arc Deposition Method
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - cathodic arc deposition
KW  - nanohardness
KW  - TiCN coatings
KW  - XRD analysis
KW  - осаждение
KW  - нанотвердость
N2  - [References: 57 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1007/s11665-018-3754-3
ER  -