TY  - ELEC
AU  - Koval, T. V.
AU  - Ryabchikov, A. I.
AU  - Chan My Kim An
AU  - Shevelev, A. E.
AU  - Sivin, D. O.
AU  - Ivanova, A. I.
AU  - Paltsev, D. M.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Numerical simulation of high-intensity metal ion beam generation
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - плазменно-иммерсионная ионная имплантация
KW  - высокочастотный разряд
KW  - ионные пучки
N2  - [References: 17 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1088/1742-6596/1115/3/032007
ER  -