TY - ELEC AU - Zykova, I. A. AU - Udalov, A. A. AU - Kudryavtseva, V. L. AU - Shesterikov, E. V. AU - Tverdokhlebov, S. I. ED - Национальный исследовательский Томский политехнический университет ED - Национальный исследовательский Томский политехнический университет TI - The fabrication of patterned metallic master by photolithography and electroplating technique for making PDMS-stamp as a tool for drug delivery system preparation KW - электронный ресурс KW - труды учёных ТПУ KW - фотолитография KW - доставка KW - лекарства KW - пленки KW - дефекты KW - гальванопластика N2 - [References: 8 tit.] UR - http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/511/1/012037 UR - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55434 ER -