TY  - ELEC
AU  - Fedotkin, A. Yu.
AU  - Kozelskaya, A. I.
AU  - Tverdokhlebov, S. I.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Formation of bioactive coatings by radio frequency magnetron sputtering using various calcium phosphate targets and working gases
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - биоактивные покрытия
KW  - ВЧМP
KW  - высокочастотное магнетронное распыление
KW  - кальций-фосфатные мишени
KW  - рабочий газ
N2  - [References: 6 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1088/1742-6596/1281/1/012016
ER  -