20191106a2019 k y0engy50 ba - Заглавие с экрана Subjects--Corporate Names: электронный ресурструды учёных ТПУion beamAl-Si-N coatingsradiation defectsabsorptionионные пучкирадиационные дефектыпоглощениемногослойные покрытиятонкие слоиоптические свойства