TY  - ELEC
AU  - Pavlov, S. K.
AU  - Konusov, F. V.
AU  - Lauk, A. L.
AU  - Sokhoreva, V. V.
AU  - Gadirov, R.
AU  - Tarbokov, V. A.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Effect of 28 MeV He{2+} Ion Beam and Short-Pulsed 200 keV C{+} Ion Beam Irradiation on Optical Properties of Multilayer Al-Si-N Coatings
T2  - Defect Engineering, Nano-Science and Technology. Poster Session
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - ion beam
KW  - Al-Si-N coatings
KW  - radiation defects
KW  - absorption
KW  - ионные пучки
KW  - радиационные дефекты
KW  - поглощение
KW  - многослойные покрытия
KW  - тонкие слои
KW  - оптические свойства
UR  - https://smmib.ru/assets/files/SMMIB2019_TOMSK_full.pdf#page=152
ER  -