20191108a2019    k  y0engy50      ba <br/><br/>
 - Title screen 
<br/><br/><label>Subjects--Corporate Names: </label><br/>электронный ресурс<br/>труды учёных ТПУ<br/>Carbon<br/>Ion Beam Sputtering<br/>Phase Composition<br/>Raman Spectroscopy<br/>Roughness<br/>углерод<br/>фазовый состав<br/>ионно-лучевое распыление<br/>рамановская спектроскопия<br/>шероховатость<br/>кремний<br/>покрытия<br/>карбид кремния<br/>термостойкость