TY  - ELEC
AU  - Bozhko, I. A.
AU  - Kalashnikov, M. P.
AU  - Fedorishcheva, M. V.
AU  - Sergeev, V. P.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - The Study of the Structural Phase State and Properties of Impact Resistant Zr-Y-O Coatings Systems on Si Substrates
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - структурно-фазовые состояния
KW  - покрытия
KW  - подложки
KW  - физико-механические свойства
KW  - монокристаллический кремний
KW  - магнетронное осаждение
KW  - защитные покрытия
KW  - оптические свойства
N2  - [References: 4 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1063/1.5131905
ER  -