TY  - ELEC
AU  - Grenaderov, A. S.
AU  - Oskomov, K. V.
AU  - Soloviev (Solovyev), A. A.
AU  - Selivanova, A. V.
AU  - Konishchev, M. E.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Plasma-Chemical Deposition of Anti-Reflection and Protective Coating for Infrared Optics
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - anti-reflection coatings
KW  - protective coatings
KW  - infrared optics
KW  - plasma-chemical synthesis
N2  - [References: 21 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1007/s11182-019-01835-4
ER  -