TY  - ELEC
AU  - Sivkov, A. A.
AU  - Shanenkov, I. I.
AU  - Ivashutenko, A. S.
AU  - Nikitin, D. S.
AU  - Shanenkova, Yu. L.
AU  - Rakhmatullin, I. A.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Deposition of cubic tungsten carbide coating on metal substrates at sputtering of electric discharge plasma
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - осаждение
KW  - кубический карбид вольфрама
KW  - распыление
KW  - электроразрядная плазма
N2  - [References: 19 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1088/1742-6596/1393/1/012133
UR  - http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57828
ER  -