TY  - ELEC
AU  - Geints, Yu. E.
AU  - Minin, O. V.
AU  - Minin, I. V.
AU  - Zemlyanov, Yu. E.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Self-images contrast enhancement for displacement Talbot lithography by means of composite mesoscale amplitude-phase masks
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - контрастность
KW  - изображения
N2  - [References: 39 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1088/2040-8986/ab5b7d
ER  -