TY  - ELEC
AU  - Borisov, D. P.
AU  - Goncharenko, I. M.
AU  - Koval, N. N.
AU  - Schanin, P. M.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
TI  - Plasma-assisted deposition of a three-layer structure by vacuum and gas arcs
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - соединения железа
KW  - плазма
N2  - [References: p. 1684 (9 tit.)]
UR  - http://dx.doi.org/10.1109/27.747886
ER  -