TY - ELEC AU - Gaydaychuk, A. V. AU - Linnik, S. A. ED - Национальный исследовательский Томский политехнический университет TI - Tribological and mechanical properties of diamond films synthesized with high methane concentration KW - электронный ресурс KW - труды учёных ТПУ KW - ultrananocrystalline diamond film KW - CoF KW - wear rate KW - HFCVD KW - алмазные пленки N2 - [References: 40 tit.] UR - https://doi.org/10.1016/j.ijrmhm.2019.105057 ER -