TY  - ELEC
AU  - Bugaev, A. V.
AU  - Frolova, V. P.
AU  - Gushenets, V. I.
AU  - Nikolaev, A. G.
AU  - Oks, E. M.
AU  - Savkin, K. P.
AU  - Shandrikov, M. V.
AU  - Vizir, A.
AU  - Yushkov, A. Yu.
AU  - Кадлубович, Б. Е.
AU  - Yushkov, G. Yu.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Generation of boron ion beams by vacuum arc and planar magnetron ion sources
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - генерация
KW  - ионы бора
KW  - вакуумные дуги
KW  - планарные технологии
N2  - [References: 20 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1063/1.5125704
ER  -