TY  - ELEC
AU  - Grenaderov, A. S.
AU  - Oskomov, K. V.
AU  - Soloviev (Solovyev), A. A.
AU  - Ivanova, N. M.
AU  - Sypchenko, V. S.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Plasma Chemical Synthesis of Amorphous Hydrocarbon Films Alloyed by Silicon, Oxygen and Nitrogen
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - plasma chemical synthesis
KW  - alloyed amorphous doping
KW  - Fourier-transform infrared spectroscopy
KW  - Raman spectroscopy
KW  - плазмохимический синтез
KW  - легирование
KW  - ИК-спектроскопия
N2  - [References: 30 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1007/s11182-019-01835-4
ER  -