TY  - ELEC
AU  - Pustovalova, A. A.
AU  - Boytsova, E. L.
AU  - Aubakirova, D.
AU  - Bruns, M. P.
AU  - Tverdokhlebov, S. I.
AU  - Pichugin, V. F.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Formation and structural features of nitrogen-doped titanium dioxide thin films grown by reactive magnetron sputtering
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - titanium dioxide
KW  - N-doped TiO2
KW  - nitrogen oxides
KW  - bias voltage
KW  - magnetron sputtering
KW  - оксид титана
KW  - оксид азота
KW  - магнетронное распыление
N2  - [References: 61 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2020.147572
ER  -