TY  - ELEC
AU  - Ryabchikov, A. I.
AU  - Lopatin, I. V.
AU  - Ananin, P. S.
AU  - Bleykher (Bleicher), G. A.
AU  - Ivanova, A. I.
AU  - Koval, T. V.
AU  - Modebadze, G. S.
AU  - Sivin, D. O.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Temperature gradients in targets with high-intensity implantation and their influence on the characteristics of ion-modified layers
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - градиенты
KW  - ионно-модифицированные слои
KW  - металлические мишени
KW  - ионная имплантация
KW  - ионные пучки
KW  - температурные поля
N2  - [References: 17 tit.]
UR  - http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/1393/1/012021
ER  -