20210409d2019    k  y0engy50      ba <br/><br/>
 - Title screen 
<br/><br/><label>Subjects--Corporate Names: </label><br/>электронный ресурс<br/>труды учёных ТПУ<br/>A-C:H:SiOx films<br/>PACVD<br/>substrate bias<br/>raman spectroscopy<br/>Fourier transform infrared spectroscopy<br/>wettability<br/>пленки<br/>рамановская спектроскопия<br/>инфракрасная спектроскопия<br/>смачиваемость<br/>подложки