TY  - ELEC
AU  - Ryabchikov, A. I.
AU  - Shevelev, A. E.
AU  - Sivin, D. O.
AU  - Ivanova, A. I.
AU  - Medvedev, V. N.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Low energy, high intensity metal ion implantation method for deep dopant containing layer formation
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - high intensity ion beam
KW  - metal ion implantation
KW  - intermetallic layers
KW  - aluminum
KW  - nickel
KW  - ионные пучки
KW  - имплантация
KW  - ионы металлов
KW  - алюминий
KW  - никель
KW  - слои
N2  - [References: 20 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2018.02.111
ER  -