TY  - ELEC
AU  - Anishchenko, E. V.
AU  - Arykov, V. S.
AU  - Gavrilova, A. M.
AU  - Dedkova, O. A.
AU  - Kagadei, V. A.
AU  - Kamchatnaya, O. V.
AU  - Lilenko, Yu. V.
AU  - Yushenko, A. Yu.
TI  - Self-Aligned Multilayer Dielectric “DummyGate” Technology for L–, S– and X–Band GaAsMMICs Fabrication
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - gallium arsenide
KW  - ion implantation
KW  - dummy gate
KW  - MESFET
KW  - AESA
KW  - ионная имплантация
N2  - [References: p. 40 (3 tit.)]
UR  - https://doi.org/10.1109/MNST.2010.5687133
ER  -