TY  - ELEC
AU  - Ryabchikov, A. I.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - High-Intensity Implantation With an Ion Beam's Energy Impact on Materials
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - energy impact
KW  - high-Intensity Implantation
KW  - ion beam
KW  - material properties modification
KW  - synergistic
KW  - энергетическое воздействие
KW  - имплантация
KW  - модификации
KW  - свойства
KW  - материалы
KW  - синергетика
KW  - ионные пучки
N2  - [References: 67 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1109/TPS.2021.3073942
ER  -