TY  - ELEC
AU  - Bozhko, I. A.
AU  - Kalashnikov, M. P.
AU  - Fedorishcheva, M. V.
AU  - Khristenko, Yu. F.
AU  - Sergeev, V. P.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Development and Study of the Properties of Impact-Resistant Ceramic Nanocomposite Coatings for Silicon
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - pulsed magnetron sputtering
KW  - protective coatings
KW  - optically transparent coatings
KW  - crack resistance
KW  - impact resistance
KW  - магнетронные напыления
KW  - защитные покрытия
KW  - трещиностойкость
KW  - ударопрочность
KW  - керамические покрытия
N2  - [References: 9 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1007/s10717-020-00259-8
ER  -