TY  - ELEC
AU  - Gerasimov, D. Yu.
AU  - Sivkov, A. A.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Deposition of Superhard Ti–C–N Plasma Coatings in Nitrogen Atmosphere
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - coaxial magneto-plasma accelerator
KW  - titanium nitride
KW  - titanium carbonitride
KW  - superhard coatings
N2  - [References: 7 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1134/S2075113321030114
ER  -