TY - ELEC AU - Герасимов, Д. Ю. AU - Сивков, А. А. ED - Национальный исследовательский Томский политехнический университет TI - Нанесение сверхтвердых плазменных покрытий на основе Ti-С-N в азотной атмосфере KW - электронный ресурс KW - труды учёных ТПУ KW - нанесение покрытий KW - плазменные покрытия KW - магнитоплазменные ускорители KW - нитрид титана KW - карбонитрид титана KW - coaxial magnetoplasma accelerator KW - titanium nitride KW - titanium carbonitride KW - superhard coatings N2 - [Библиогр.: 7 назв.] UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=44465093 UR - https://doi.org/10.30791/0015-3214-2020-5-44-48 ER -