TY  - GEN
AU  - Evdokimov, K. E.
AU  - Konishchev, M. E.
AU  - Pichugin, V. F.
AU  - Sun Zhilei
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Study of argon ions density and electron temperature and density in magnetron plasma by optical emission spectroscopy and collisional-radiative model
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - magnetron plasma diagnostics
KW  - OES
KW  - CRM
N2  - [References: 23 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1016/j.reffit.2017.04.002
ER  -