TY  - ELEC
AU  - Vlasenko, S.
AU  - Benediktovitch, A. I.
AU  - Ulyanenkov, A. P.
AU  - Uglov, V. V.
AU  - Abadias, G.
AU  - O'Connell, J. H.
AU  - Janse Van Vuuren Arno
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Microstructure Characterization of Multilayer Thin Coatings ZrN/Si3N4 by X-Ray Diffraction Using Noncoplanar Measurement Geometry
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - микроструктуры
KW  - тонкие покрытия
KW  - рентгеновская дифракция
KW  - измерения
KW  - многослойные покрытия
N2  - [References: 38 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1002/pssa.201700670
ER  -