TY  - ELEC
AU  - Evdokimov, K. E.
AU  - Konishchev, M. E.
AU  - Pichugin, V. F.
AU  - Pustovalova, A. A.
AU  - Ivanova, N. M.
AU  - Sun Zhilei
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Determination of the Electron Density and Electron Temperature in A Magnetron Discharge Plasma Using Optical Spectroscopy and the Collisional-Radiative Model of Argon
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - plasma diagnostics
KW  - optical spectroscopy
KW  - collisional-radiative model
KW  - reactive magnetronsputtering
KW  - диагностика
KW  - плазма
KW  - оптическая спектроскопия
KW  - реактивное распыление
KW  - магнетронное распыление
KW  - аргон
N2  - [References: 23 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1007/s11182-017-1137-0
ER  -