TY  - ELEC
AU  - Ryabchikov, A. I.
AU  - Shevelev, A. E.
AU  - Sivin, D. O.
AU  - Dektyarev, S. V.
AU  - Korneva, O. S.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Formation, Focusing and Transport of Highintensity, Low-Energy Metal Ion Beams
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - vacuum arc plasma
KW  - ion beam generation
KW  - ion implantation
KW  - плазма
KW  - ионные пучки
KW  - ионная имплантация
N2  - [References: 47 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1007/s11182-021-02224-6
ER  -