TY  - ELEC
AU  - Ryzhkov, V. A.
AU  - Tarbokov, V. A.
AU  - Smolyansky, E. A.
AU  - Remnev, G. E.
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
ED  - Национальный исследовательский Томский политехнический университет
TI  - Radioactivation Monitoring of the Density of Wear-Resistant AlN and CrN Coatings on Silicon
KW  - электронный ресурс
KW  - труды учёных ТПУ
KW  - density
KW  - radioactivation analysis
KW  - magnetron
KW  - microinterferometer
KW  - плотность
KW  - радиоактивный анализ
KW  - магнетроны
KW  - износостойкие покрытия
N2  - [References: 5 tit.]
UR  - https://doi.org/10.1134/S106378502105028X
ER  -